Es wird in Waferhandhabungs-, Ätz-, Abscheidungs- und Erkennungsgeräten verwendet. Seine hohe Reinheit, Isolierung, Verschleißfestigkeit und thermische Stabilität tragen dazu bei, Prozessgenauigkeit sicherzustellen, Verschmutzungsrisiken zu reduzieren und die Zuverlässigkeit der Ausrüstung zu verbessern.