Die Oxaluminium-Keramik-Saugnapfplatte ist ein revolutionäres Produkt im Bereich der Präzisionshandhabungssysteme. Es besteht aus α-Aluminiumoxid-Keramik (α-Al₂O₃) mit einer Reinheit von ≥99,9 %, kombiniert mit einer konstruierten porösen Struktur, um eine optimale Vakuumverteilung zu erreichen. Im Vergleich zu herkömmlichen Saugnäpfen aus Metall oder Polymer eliminiert diese Keramiklösung das Risiko einer Partikelkontamination vollständig und hält gleichzeitig extremen Temperaturen (1750 °C Dauerbetrieb) und korrosiven Umgebungen stand. Seine einzigartige Mikrostruktur (2–5 μm gleichmäßige Porengröße, 3,89 g/cm³ Dichte) gewährleistet eine Ebenheit im Submikrometerbereich (Oberflächenrauheit Ra≤0,1 μm) und macht ihn zur einzigen professionellen Saugnapfplattform, die 300-mm-Halbleiterwafer mit einer Sauggenauigkeit von ±0,1 μm handhaben kann.
1. Durchbruch in der Materialleistung
Thermische Stabilität: Keine Verformung bei 800 °C-Thermoschockzyklen und eine fünfmal längere Lebensdauer als die von Saugnäpfen aus Legierung (Hochtemperatur-Prozessumgebung).
Chemische Beständigkeit: Der 1-Jahres-Gewichtsverlust beim Eintauchen in 30 %ige Schwefelsäure beträgt weniger als 0,01 g, geeignet für Batterieelektrolytbetrieb und chemische Dampfabscheidung.
Isolationsleistung: Die Durchschlagsfeldstärke erreicht 40 kV/mm und gewährleistet so einen sicheren Betrieb in der Plasmaätzkammer.
2. Innovation im technischen Design
Porositätskontrolle: 40 % Porosität werden durch das Gelspritzgussverfahren erreicht, und die Porenwandstruktur von 1–3 μm verhindert, dass ultradünne Teile (≤ 50 μm) adsorbiert und verformt werden.
Intelligente Architektur: Der integrierte Temperatursensor unterstützt das Echtzeit-Wärmemanagement von -196 °C bis hin zu extrem hohen Umgebungstemperaturen.
